[实用新型]一种用于步进器曝光系统的自动对焦部有效
| 申请号： | 201821174903.1 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208834096U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，包括晶片装载台、第一马达、第二马达、装载台中继基板、自动对焦中继基板、系统测试单元和LED水银灯，晶片装载台顶部固定连接有与晶片装载台相适配的对焦面，晶片装载台底部通过装载台中继基板双向连接有系统测试单元，系统测试单元一侧双向连接有自动对焦中继基板，自动对焦中继基板顶部通过自动对焦传感器连接有受光器，受光器底端两侧分别连接有第二马达和校正器，LED水银灯底部发射出的光线贯穿送光器并延伸至送光侧上，送光侧上的光线通过折返像镜发射到对物镜头内，振动子和LED水银灯之间设有缩小投影镜头。有益效果：有效的提高对准焦点和水准测量精度，使用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 中继基板 自动对焦 晶片装载 系统测试 水银灯 马达 曝光系统 双向连接 步进器 受光器 装载台 自动对焦传感器 本实用新型 光线通过 水准测量 投影镜头 发射 使用性 物镜头 校正器 振动子 折返 底端 对焦 适配 像镜 对准 贯穿 焦点 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，包括晶片装载台(1)、第一马达(2)、第二马达(3)、装载台中继基板(4)、自动对焦中继基板(5)、系统测试单元(6)和LED水银灯(7)，所述晶片装载台(1)顶部固定连接有与晶片装载台(1)相适配的对焦面(8)，所述晶片装载台(1)底部通过所述装载台中继基板(4)双向连接有所述系统测试单元(6)，所述系统测试单元(6)一侧双向连接有所述自动对焦中继基板(5)，所述自动对焦中继基板(5)顶部通过自动对焦传感器(9)连接有受光器(10)，所述受光器(10)底端两侧分别连接有所述第二马达(3)和校正器(11)，所述LED水银灯(7)底部发射出的光线贯穿送光器(12)并延伸至送光侧(13)上，所述送光侧(13)上的光线通过折返像镜(14)发射到对物镜头(15)内，所述对物镜头(15)上的光线穿射至所述对焦面(8)上，所述对焦面(8)发射出的光线穿过受光侧(16)连接有所述折返像镜(14)，所述折返像镜(14)上方设有与所述受光器(10)相连接的振动子(17)，所述振动子(17)和所述LED水银灯(7)之间设有位于所述晶片装载台(1)上方的缩小投影镜头(18)。
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