[实用新型]一种用于步进器的场图像对其部

摘要

本实用新型涉及一种用于步进器的场图像对其部，包括晶片装载台、第一马达、第二马达、装载台中继基板、自动对焦中继基板、系统测试单元和LED水银灯，晶片装载台顶部固定连接有与晶片装载台相适配的对焦面，晶片装载台底部通过装载台中继基板双向连接有系统测试单元，系统测试单元一侧双向连接有自动对焦中继基板，自动对焦中继基板顶部通过自动对焦传感器连接有受光器，受光器底端两侧分别连接有第二马达和校正器，晶片装载台顶部连接有晶片，晶片上方靠近对物镜头上连接有投影镜头，投影镜头一端通过投影标记连接有折返镜头，折返镜头两端分别连接有交互式CCD相机和LED水银灯。有益效果：有效的提高对准焦点和水准测量精度，使用性强。

主权项

1.一种用于步进器的场图像对其部，其特征在于，包括晶片装载台(1)、第一马达(2)、第二马达(3)、装载台中继基板(4)、自动对焦中继基板(5)、系统测试单元(6)和LED水银灯(7)，所述晶片装载台(1)顶部固定连接有与晶片装载台(1)相适配的对焦面(8)，所述晶片装载台(1)底部通过所述装载台中继基板(4)双向连接有所述系统测试单元(6)，所述系统测试单元(6)一侧双向连接有所述自动对焦中继基板(5)，所述自动对焦中继基板(5)顶部通过自动对焦传感器(9)连接有受光器(10)，所述受光器(10)底端两侧分别连接有所述第二马达(3)和校正器(11)，所述LED水银灯(7)底部发射出的光线贯穿送光器(12)并延伸至送光侧(13)上，所述送光侧(13)上的光线通过折返像镜(14)发射到对物镜头(15)内，所述对物镜头(15)上的光线穿射至所述对焦面(8)上，所述对焦面(8)发射出的光线穿过受光侧(16)连接有所述折返像镜(14)，所述折返像镜(14)上方设有与所述受光器(10)相连接的振动子(17)，所述振动子(17)和所述LED水银灯(7)之间设有位于所述晶片装载台(1)上方的缩小投影镜头(18)；所述晶片装载台(1)顶部连接有晶片(19)，所述晶片(19)上方靠近所述对物镜头(15)上连接有投影镜头(20)，所述投影镜头(20)一端通过投影标记(21)连接有所述折返像镜(14)，所述折返像镜(14)两端分别连接有交互式CCD相机(22)和所述LED水银灯(7)，所述交互式CCD相机(22)底部通过电源引线连接有显示器(23)。