[实用新型]用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜有效
| 申请号： | 201821175472.0 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208478831U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 曲轶;任永学;赵波 | 申请（专利权）人： | 前海盛德技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/022 | 分类号： | H01S5/022 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 李想 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜，包括输出镜密封壳和密封圆板，所述输出镜密封壳的一侧固定安装有密封板，所述密封板的内部开设有安装孔，所述密封板嵌入安装在密封圆板的外缘，所述密封圆板的内部固定安装有输出镜主体，所述密封板的一侧设置有喷吹器，所述喷吹器的两侧均开设有缓存腔，所述输出镜主体的两侧均安装有光学膜片，且输出镜主体设置有不少于四个，两个所述输出镜主体中部组成一个空腔，且输出镜主体、喷吹器和缓存腔之间连通，本实用新型解决了输出镜较易损坏及工作效率相对低下的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 输出镜 密封板 密封圆板 喷吹器 全固态激光装置 本实用新型 光学膜 密封壳 波长 工作效率 光学膜片 内部固定 嵌入安装 主体中部 安装孔 缓存腔 空腔 连通 | ||
【主权项】：
1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜，其特征在于：包括输出镜密封壳(1)和密封圆板(4)，所述输出镜密封壳(1)的一侧固定安装有密封板(3)，所述密封板(3)的内部开设有安装孔(2)，所述密封板(3)嵌入安装在密封圆板(4)的外缘，所述密封圆板(4)的内部固定安装有输出镜主体(5)，所述密封板(3)的一侧设置有喷吹器(6)，所述喷吹器(6)的两侧均开设有缓存腔(7)。
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