[实用新型]一种真空蒸镀源有效
| 申请号： | 201821175508.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208917283U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 景东 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空蒸镀源，涉及真空蒸镀设备技术领域，其中一种真空蒸镀源包括：蒸镀腔体，其内部设置有用于放置待蒸镀基板的基板支架；坩埚，设置于所述蒸镀腔体内部，用于加热蒸镀材料使其升华或者形成蒸镀蒸汽；密封过渡装置，设置于所述坩埚的开口处；所述密封过渡装置设置有开合状态可控的隔离门；当所述隔离门打开时，所述坩埚内的蒸镀蒸汽可通过所述密封过渡装置进入蒸镀腔体；当所述隔离门关闭时，所述蒸镀腔体与所述坩埚隔离。通过本实用新型，可以将蒸镀腔体与坩埚隔离，实现仅对蒸镀腔体破真空而不影响坩埚内的蒸镀材料，或者仅对坩埚破真空而不影响蒸镀腔体内已制备的OELD的性能，从而能够减少快速破真空的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀腔体 过渡装置 真空蒸镀 破真空 密封 本实用新型 隔离门 蒸镀腔 蒸镀 蒸汽 加热蒸镀材料 真空蒸镀设备 隔离 隔离门打开 基板支架 开合状态 内部设置 蒸镀材料 蒸镀基板 开口处 可控的 体内部 制备 体内 升华 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀源，其特征在于，包括：蒸镀腔体，其内部设置有用于放置待蒸镀基板的基板支架；坩埚，设置于所述蒸镀腔体内部，用于加热蒸镀材料使其升华或者形成蒸镀蒸汽；密封过渡装置，设置于所述坩埚的开口处；所述密封过渡装置设置有开合状态可控的隔离门；当所述隔离门打开时，所述坩埚内的蒸镀蒸汽可通过所述密封过渡装置进入蒸镀腔体；当所述隔离门关闭时，所述蒸镀腔体与所述坩埚隔离。
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