[实用新型]匹配器升降装置有效
| 申请号： | 201821182817.5 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN208580714U | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张伟涛;叶豪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的匹配器升降装置，其借由驱动机构驱动匹配器上升或下降，以使匹配器能够与位于其上方的射频分接盒对接，或者与射频分接盒分离。这样，在安装匹配器时，无需一人托举匹配器，因此单人就可以完成匹配器的装卸，操作方便，在拆卸匹配器时，在驱动机构的驱动下下降，因此能够避免因匹配器与下方精密元器件磕碰而导致的匹配器或外部器件损坏，从而提高匹配器装卸的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配器 驱动机构 升降装置 分接盒 射频 装卸 本实用新型 精密元器件 驱动 外部器件 磕碰 托举 拆卸 | ||
【主权项】：
1.一种匹配器升降装置，其特征在于，包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动匹配器上升或者下降，以使所述匹配器能够与位于所述匹配器上方的射频分接盒对接，或者与所述射频分接盒分离。
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