[实用新型]一种硅片运输装置有效
| 申请号： | 201821205104.6 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208767269U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 孔法;李永杰;王宏波;乔勇;谢贤清 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片运输装置，属于太阳电池制造技术领域，该硅片运输装置包括运输台，用于将硅片输送至限位机构内；吹气组件，对应所述限位机构，能够将到达所述限位机构内的硅片吹起；检测组件，能够检测所述运输台上硅片的位置；及控制器，连接所述吹气组件和检测组件，并能够控制所述吹气组件启停。本实用新型中的运输台可将硅片送入限位机构中，吹气组件将位于限位机构内的硅片吹起，并悬浮于限位机构内，此时，硅片的下方与限位机构之间有间隙，从而将又一硅片插入间隙，实现了在限位机构内插入两片或多片硅片，提高了生产效率，同时，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 限位机构 吹气组件 运输装置 本实用新型 检测组件 运输台 太阳电池制造 插入间隙 硅片输送 生产效率 控制器 多片 启停 送入 悬浮 检测 运输 | ||
【主权项】：
1.一种硅片运输装置，其特征在于，包括：运输台，用于将硅片(30)输送至限位机构内；吹气组件(11)，对应所述限位机构，能够将到达所述限位机构内的硅片(30)吹起；检测组件，能够检测所述运输台上硅片(30)的位置；及控制器，连接所述吹气组件(11)和检测组件，并控制所述吹气组件(11)启停。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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