[实用新型]一种晶体生长炉用升降装置有效
| 申请号： | 201821215818.5 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208632692U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 廖永建;周里华;张福亮 | 申请（专利权）人： | 惠磊光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶体生长炉用升降装置，涉及单晶生长技术领域，包括架体和连接在架体上的箱体，箱体下方于架体内设置有升降台，升降台上设置有穿设于箱体底部并朝向箱体内移动的支撑杆，支撑杆用于与坩埚固定连接以带动坩埚升降，箱体和架体之间设置有用于驱动升降台于架体内于竖直方向升降的丝杠升降机，升降台上朝向丝杠升降机的蜗杆所在的位置设置有第一板体，第一板体上设置有第一电机，第一电机通过减速组件驱动丝杠升降机的蜗杆转动，减速组件的设置对第一电机驱动蜗杆转动起到进一步的减速效果，防止因下降速度过快导致生长出来的晶体变为多晶，并且可防止晶体在生长的过程当中出现断层现象。 | ||
| 搜索关键词： | 架体 升降台 升降 晶体生长炉 丝杠升降机 减速组件 升降装置 第一板 支撑杆 蜗杆 转动 电机 升降机 体内 电机驱动蜗杆 本实用新型 单晶生长 断层现象 减速效果 驱动丝杠 坩埚升降 生长 穿设 多晶 竖直 坩埚 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长炉用升降装置，包括架体(1)和连接在架体(1)上的箱体(2)，所述箱体(2)下方于架体(1)内设置有升降台(3)，所述升降台(3)上设置有穿设于箱体(2)底部并朝向箱体(2)内移动的支撑杆(31)，所述支撑杆(31)用于与坩埚固定连接以带动坩埚升降，所述箱体(2)和架体(1)之间设置有用于驱动升降台(3)于架体(1)内于竖直方向升降的丝杠升降机(32)，其特征在于，所述升降台(3)上朝向丝杠升降机(32)的蜗杆所在的位置设置有第一板体(33)，所述第一板体(33)上设置有第一电机(331)，所述第一电机(331)通过减速组件驱动丝杠升降机(32)的蜗杆转动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠磊光电科技（上海）有限公司，未经惠磊光电科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821215818.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
