[实用新型]蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及一种蒸镀装置，包括真空容器、大气箱、运动驱动机构和波纹管组件，还包括导向管，运动驱动机构至少部分地穿设在导向管中，导向管的侧壁上设有沿轴向延伸的开口，大气箱经由穿过开口的连接件连接至运动驱动机构，连接件与开口共同形成第一运动导向结构，以便对大气箱的运动进行导向，导向管的外侧面用于对波纹管组件进行支承和/或导向。由于蒸镀装置中设置了导向管，其能够提高运动驱动机构的防漏油性，并且，其既能为大气箱提供运动导向作用，又能为波纹管组件提供支承和运动导向作用，不仅简化了大气箱和波纹管组件的导向机构的结构，还有利于减小波纹管组件的径向尺寸，从而减小了对真空容器内部空间的占用。

主权项

1.一种蒸镀装置，包括：真空容器，用于收容蒸镀材料并执行蒸镀作业；大气箱，可动地设置于所述真空容器中，其内部空间与所述真空容器的真空内腔气密地隔绝；运动驱动机构，至少部分地设置在所述真空容器中，用于驱动所述大气箱在所述真空容器中运动；以及波纹管组件，设置在所述运动驱动机构的外围，用于将所述运动驱动机构与所述真空容器的真空内腔气密地隔绝，所述波纹管组件可在轴向上伸缩，以适应所述大气箱的运动；其特征在于，所述蒸镀装置还包括导向管，所述运动驱动机构至少部分地穿设在所述导向管中，所述导向管的侧壁上设有沿轴向延伸的开口，所述大气箱经由穿过所述开口的连接件连接至所述运动驱动机构，所述连接件与所述开口共同形成第一运动导向结构，以便对所述大气箱的运动进行导向，所述导向管的外侧面用于对所述波纹管组件进行支承和/或导向。