[实用新型]一种分体式防着板组件有效
| 申请号： | 201821230251.9 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN208733212U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孙建忠 | 申请（专利权）人： | 苏州康普雷森精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 于浩江 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种分体式防着板组件，包含固定板、拆换板和连接支架；所述连接支架设置在固定板的后侧，固定板的下端与拆换板的上端通过相互交错的搭接结构拼接，并通过螺栓固定，形成一个整体，固定板和拆换板的前侧表面平滑连接；所述拆换板的下端设置有向前的延伸部，固定板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要更换并清理位于下部的拆换板部分即可，不需要对防着板组件整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，并且提高了拆换和清理的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 拆换 固定板 防着板 连接支架 前侧表面 分体式 延伸部 下端 本实用新型 搭接结构 工作表面 颗粒凸起 螺栓固定 平滑连接 组件整体 光面 上端 飞溅 靶材 沉积 拼接 交错 | ||
【主权项】：
1.一种分体式防着板组件，其特征在于：包含固定板（11）、拆换板（12）和连接支架（14）；所述连接支架（14）设置在固定板（11）的后侧，固定板（11）的下端与拆换板（12）的上端通过相互交错的搭接结构拼接，并通过螺栓（15）固定，形成一个整体，固定板（11）和拆换板（12）的前侧表面平滑连接；所述拆换板（12）的下端设置有向前的延伸部（13），固定板（11）的前侧表面为光面，拆换板（12）和延伸部（13）的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构（21）。
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