[实用新型]一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构有效

专利信息
申请号: 201821230894.3 申请日: 2018-08-01
公开(公告)号: CN208400822U 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 李聪盛;陈琮岳 申请(专利权)人: 安徽宏实自动化装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 230001 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构,包括壳体和用于传送加工元件的传动机构,所述壳体的右壁中部开设有出料口,所述传动机构设置在壳体的内侧,所述传动机构的右端穿过出料口并延伸至壳体右侧,所述壳体的右壁上端固定连接有支撑板,所述支撑板的上表面固定安装有电机,所述电机的输出轴端固定连接有螺纹杆,所述支撑板的两侧均开设有通孔,所述通孔内设有滑杆,所述滑杆的上端固定连接有限位板,所述滑杆的下端固定连接有安装板,所述安装板的右侧固定连接有连接杆,所述连接杆的右侧固定安装有离子风刀,本实用新型通过在壳体的右侧设置离子风刀,可以有效清除加工元件表面的微尘粒子,避免后续制程上的缺陷。
搜索关键词: 壳体 离子风刀 支撑板 滑杆 机台 本实用新型 上端固定 湿式制程 安装板 出料端 出料口 连接杆 通孔 右壁 电机 加工元件表面 加工元件 输出轴端 微尘粒子 螺纹杆 上表面 下端 制程 传送 穿过 延伸
【主权项】:
1.一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构,包括壳体(1)和用于传送加工元件(2)的传动机构(3),其特征在于,所述壳体(1)的右壁中部开设有出料口(4),所述传动机构(3)设置在壳体(1)的内侧,所述传动机构(3)的右端穿过出料口(4)并延伸至壳体(1)右侧,所述壳体(1)的右壁上端固定连接有支撑板(5),所述支撑板(5)的上表面固定安装有电机(6),所述电机(6)的输出轴端固定连接有螺纹杆(7),所述支撑板(5)的两侧均开设有通孔(8),所述通孔(8)内设有滑杆(9),所述滑杆(9)的上端固定连接有限位板(10),所述滑杆(9)的下端固定连接有安装板(11),所述安装板(11)的上表面开设有螺纹孔(12),所述螺纹孔(12)与螺纹杆(7)螺纹配合,所述安装板(11)的右侧固定连接有连接杆(13),所述连接杆(13)的右侧固定安装有离子风刀(14)。
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