[实用新型]一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器有效
| 申请号： | 201821231269.0 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN208568143U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 郭风祥;盖志刚;张涛;张妹;胡鼎;刘寿生;曹琳;王韶琰;柴旭;王宜豹 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/06 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 马千会;张慧芳 |
| 地址： | 266200 山东省青岛市鳌山卫街*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于海洋环境监测仪器技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳；其中，基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；电极包括四个，分别设置在形成所述压力敏感层的四块薄膜上；金属外壳安装在所述基底的顶面，并将所述绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内，在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本实用新型的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 海水压力 绝缘层 传感器 压力敏感层 顶面 基底 金属外壳 本实用新型 金刚石薄膜 电极 底座 薄膜 海洋环境监测 硼掺杂金刚石 仪器技术领域 传感器结构 电极封装 信号漂移 灵敏度 液压油 单晶 多晶 失稳 封装 环绕 体内 检测 响应 | ||
【主权项】：
1.一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器，其特征在于，包括：底座；基底，其位于所述底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层，其位于所述基底的顶面，且位于所述应力腔的正上方；压力敏感层，其位于所述绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；电极，其包括四个，分别设置在形成所述压力敏感层的四块薄膜上；金属外壳，其安装在所述基底的顶面，并将所述绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内，在所述金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。
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