[实用新型]一种高纯铌旋转靶有效
| 申请号： | 201821235609.7 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208748186U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 齐宝明 | 申请（专利权）人： | 陕西中北泰钽铌金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石淑珍 |
| 地址： | 721000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯铌旋转靶，所述高纯铌旋转靶采用高纯铌材料制成，所述高纯铌旋转靶为管状结构，所述高纯铌旋转靶左侧端部设置有外螺纹，其右侧端部设置有内螺纹，所述外螺纹和内螺纹长度相等，所述外螺纹和内螺纹均为三角螺纹，且所述外螺纹和内螺纹的公称尺寸相等，所述外螺纹和内螺纹螺距相等，所述高纯铌旋转靶靠近外螺纹内侧端设置有第一圆弧形安装槽，所述高纯铌旋转靶靠近内螺纹内侧端设置有第二圆弧形安装槽。所述高纯铌旋转靶绕固定的条状磁铁组件旋转,因而360°靶面可被均匀刻蚀,利用率高达60％,管状靶材在长度方向上具有极佳的镀膜均匀性，结构简单、利用率高且使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯铌 旋转靶 内螺纹 外螺纹 圆弧形安装槽 内侧端 本实用新型 镀膜均匀性 长度相等 管状靶材 管状结构 螺距相等 三角螺纹 条状磁铁 右侧端部 左侧端部 固定的 靶面 刻蚀 相等 | ||
【主权项】：
1.一种高纯铌旋转靶，其特征在于，所述高纯铌旋转靶采用高纯铌材料制成，所述高纯铌旋转靶为管状结构，所述高纯铌旋转靶左侧端部设置有外螺纹(1)，其右侧端部设置有内螺纹(4)，所述外螺纹(1)和内螺纹(4)长度相等，且所述外螺纹(1)和内螺纹(4)均为三角螺纹，所述外螺纹(1)和内螺纹(4)的公称尺寸相等，所述外螺纹(1)和内螺纹(4)螺距相等，所述高纯铌旋转靶靠近外螺纹(1)内侧端设置有第一圆弧形安装槽(2)，所述高纯铌旋转靶靠近内螺纹(4)内侧端设置有第二圆弧形安装槽(3)。
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