[实用新型]一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备

摘要

本实用新型涉及一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备，其主要是通过将四氟化硅生产过程中产生的废气与无水HF酸槽车卸车时产生含有HF气体的废气进行整合反应，使其生产出所需要的氟硅酸；本实用新型的有益效果：不仅避免四氟化硅废气与HF废气污染环境，还能够将资源整合利用，从而提高资源的利用率。

主权项

1.一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备，其特征在于：包括依次串联的一级水洗塔、二级水洗塔、碱洗塔和去尾气风机；所述一级水洗塔、二级水洗塔和碱洗塔分别还并联有一级水洗循环槽、二级水洗循环槽和碱洗循环槽，所述一级水洗循环槽、二级水洗循环槽和碱洗循环槽内部的水洗液分别通过一级水洗循环泵、二级水洗循环泵和碱洗循环泵分别送入至一级水洗塔、二级水洗塔和碱洗塔内；所述一级水洗塔和二级水洗塔分别还连通有第一进气管和第二进气管；所述一级水洗循环槽和二级水洗循环槽均连通有进水管；所述二级水洗循环泵通过分流装置连通有分流管；所述一级水洗循环槽和二级水洗循环槽之间连通有补足管。