[实用新型]一种化学气相沉积炉两档功率加热装置有效

专利信息
申请号: 201821240344.X 申请日: 2018-08-02
公开(公告)号: CN208562520U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 关刚刚;李少华;周晓康 申请(专利权)人: 西安西炉特种电炉有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/44
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 王蕊转
地址: 710086 陕西省西安市雁塔区西三环和科*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种化学气相沉积炉两档功率加热装置,包括可编程控制器,可编程控制器分别连接智能数字控温仪、接触器单元a、接触器单元b,智能数字控温仪还分别连接温度传感器和晶闸管交流调压器,晶闸管交流调压器分别连接断路器单元和接触器单元b,接触器单元a和接触器单元b均与两档功率输入电炉变压器连接,两档功率输入电炉变压器连接电阻加热元件,电阻加热元件位于化学气相沉积炉内。解决了现有化学气相沉积炉升温阶段和保温阶段使用同一输入功率电炉变压器存在的谐波量大、功率因数低的问题。
搜索关键词: 接触器单元 化学气相沉积炉 两档 电炉变压器 晶闸管交流调压器 功率加热装置 可编程控制器 智能数字 控温仪 连接温度传感器 电阻加热元件 本实用新型 断路器单元 保温阶段 功率因数 加热元件 连接电阻 升温阶段 输入功率 谐波量
【主权项】:
1.一种化学气相沉积炉两档功率加热装置,其特征在于:包括可编程控制器(1),可编程控制器(1)分别连接智能数字控温仪(2)、接触器单元a(5)、接触器单元b(6),智能数字控温仪(2)还分别连接温度传感器(8)和晶闸管交流调压器(3),晶闸管交流调压器(3)分别连接断路器单元(9)和接触器单元b(6),接触器单元a(5)和接触器单元b(6)均与两档功率输入电炉变压器(4)连接,两档功率输入电炉变压器(4)连接电阻加热元件(7),电阻加热元件(7)位于化学气相沉积炉内。
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