[实用新型]一种化学气相沉积炉两档功率加热装置有效
申请号: | 201821240344.X | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN208562520U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 关刚刚;李少华;周晓康 | 申请(专利权)人: | 西安西炉特种电炉有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/44 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 王蕊转 |
地址: | 710086 陕西省西安市雁塔区西三环和科*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种化学气相沉积炉两档功率加热装置,包括可编程控制器,可编程控制器分别连接智能数字控温仪、接触器单元a、接触器单元b,智能数字控温仪还分别连接温度传感器和晶闸管交流调压器,晶闸管交流调压器分别连接断路器单元和接触器单元b,接触器单元a和接触器单元b均与两档功率输入电炉变压器连接,两档功率输入电炉变压器连接电阻加热元件,电阻加热元件位于化学气相沉积炉内。解决了现有化学气相沉积炉升温阶段和保温阶段使用同一输入功率电炉变压器存在的谐波量大、功率因数低的问题。 | ||
搜索关键词: | 接触器单元 化学气相沉积炉 两档 电炉变压器 晶闸管交流调压器 功率加热装置 可编程控制器 智能数字 控温仪 连接温度传感器 电阻加热元件 本实用新型 断路器单元 保温阶段 功率因数 加热元件 连接电阻 升温阶段 输入功率 谐波量 | ||
【主权项】:
1.一种化学气相沉积炉两档功率加热装置,其特征在于:包括可编程控制器(1),可编程控制器(1)分别连接智能数字控温仪(2)、接触器单元a(5)、接触器单元b(6),智能数字控温仪(2)还分别连接温度传感器(8)和晶闸管交流调压器(3),晶闸管交流调压器(3)分别连接断路器单元(9)和接触器单元b(6),接触器单元a(5)和接触器单元b(6)均与两档功率输入电炉变压器(4)连接,两档功率输入电炉变压器(4)连接电阻加热元件(7),电阻加热元件(7)位于化学气相沉积炉内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安西炉特种电炉有限公司,未经西安西炉特种电炉有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821240344.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种改进的气相沉积炉
- 下一篇:一种化学镀铜装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的