[实用新型]一种半导体炉管的晶舟

摘要

本实用新型提供一种半导体炉管的晶舟，包括：若干组在晶舟内水平设置的支撑脚，每组支撑脚包含至少三个支撑脚，且位于同一组中的支撑脚处于同一水平面上，支撑脚的一端与晶舟内壁相连接；支撑脚包括与晶圆相接触的支撑脚上表面及与支撑脚上表面相对应的支撑脚下表面；其中，支撑脚上表面包含支撑脚上表面凹槽，支撑脚下表面包含支撑脚下表面凹槽，通过支撑脚上表面凹槽以及支撑脚下表面凹槽，使得晶舟在旋转时，促进气体及温度的交换，改善晶圆的边缘区域与晶圆的中心区域的膜厚差，以及改善位于晶舟顶部与位于晶舟底部的晶圆的表面的膜厚差。

主权项

1.一种半导体炉管的晶舟，其特征在于，所述晶舟包括：若干组支撑脚，所述支撑脚在所述晶舟内水平设置，每组支撑脚包含至少三个所述支撑脚，且位于同一组中的所述支撑脚处于同一水平面上，所述支撑脚的一端与晶舟内壁相连接；所述支撑脚包括与晶圆相接触的支撑脚上表面及与所述支撑脚上表面相对应的支撑脚下表面；其中，所述支撑脚上表面包含自所述支撑脚上表面向所述支撑脚内部延伸的支撑脚上表面凹槽，所述支撑脚下表面包含自所述支撑脚下表面向所述支撑脚内部延伸的支撑脚下表面凹槽。