[实用新型]一种旋涂胶液回收系统有效

专利信息
申请号: 201821251434.9 申请日: 2018-08-03
公开(公告)号: CN209156285U 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 李中天;姚宇;邓晓帆 申请(专利权)人: 苏州太阳井新能源有限公司
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215127 江苏省苏州市吴*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种旋涂胶液回收系统,包括旋涂室,所述旋涂室内设置有旋涂装置基座,所述旋涂装置基座上连有转轴,所述转轴连有旋转平台,所述旋转平台上设置有待涂布基底,所述旋涂室内设置有位于所述待涂布基底下方的集液槽,所述集液槽下端的排液口连有排液管的上端,所述排液管的下端连有回收槽。本实用新型的一种旋涂胶液回收系统,能够回收涂布过程中溅射浪费的胶液,节约材料成本。
搜索关键词: 旋涂 胶液 回收系统 本实用新型 旋涂装置 旋转平台 集液槽 排液管 转轴 室内 节约材料 涂布过程 回收槽 排液口 上端 基底 溅射 下端 回收
【主权项】:
1.一种旋涂胶液回收系统,其特征在于:包括旋涂室,所述旋涂室内设置有旋涂装置基座,所述旋涂装置基座上连有转轴,所述转轴连有旋转平台,所述旋转平台上设置有待涂布基底,所述旋涂室内设置有位于所述待涂布基底下方的集液槽,所述集液槽下端的排液口连有排液管的上端,所述排液管的下端连有回收槽。
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