[实用新型]一种用于半导体晶圆翻膜装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体晶圆翻膜装置，包括工作台、第一固定板和翻模板，所述工作台的上端面开设有第二滑槽，第二滑槽上滑动安装有第二滑块，所述第一固定板焊接在第二滑块的上端面，第一固定板的一侧通过焊接板焊接有第二固定板，第二固定板上安装有托板，所述第一固定板和第二固定板内表面均开设有固定槽，所述工作台的上端面两侧均焊接有支撑板，支撑板的上端面开设有第一滑槽，第一滑槽内滑动安装有第一滑块，所述翻模板通过连接杆焊接在第一滑块之间，翻模板的上端面固定有把手，所述翻模板下端面连接有连接绳，连接绳的末端连接有吸附板。本实用新型具有固定半导体晶圆和便于操作、翻模效率高的优点。

主权项

1.一种用于半导体晶圆翻膜装置，包括工作台(1)、第一固定板(2)和翻模板(3)，其特征在于：所述工作台(1)的上端面开设有第二滑槽(11)，第二滑槽(11)上滑动安装有第二滑块(21)，所述第一固定板(2)焊接在第二滑块(21)的上端面，第一固定板(2)的一侧通过焊接板(16)焊接有第二固定板(8)，第二固定板(8)上安装有托板(7)，所述第一固定板(2)和第二固定板(8)内表面均开设有固定槽(22)，所述工作台(1)的上端面两侧均焊接有支撑板(9)，支撑板(9)的上端面开设有第一滑槽(5)，第一滑槽(5)内滑动安装有第一滑块(6)，所述翻模板(3)通过连接杆(10)焊接在第一滑块(6)之间，翻模板(3)的上端面固定有把手(12)，所述翻模板(3)下端面连接有连接绳(18)，连接绳(18)的末端连接有吸附板(19)。