[实用新型]一种化学气相沉积炉的支承装置

摘要

本实用新型公开一种化学气相沉积炉的支承装置，包括用于交替对基体进行支承的交替支承机构，所述交替支承机构包括至少两组支承件和用于驱动支承件交替支承基体的交替驱动机构；其中，所述交替驱动机构包括至少两个滑槽以及驱动支承件在滑槽中移动的动力机构；所述滑槽包括支承段和交替段，所述交替段的高度低于支承段的高度；当支承件的下端移动至支承段时，其上端支承在基体的下端面，当支承件的下端移动至交替段时，其上端远离基体；工作时，至少有一组支承件位于支承段上。本支承装置不但可以支承质量大小不同的基体，且支承处不会产生无薄膜的缺口，使得基体表面能均匀地一次沉积到所需的薄膜，提高沉积质量，降低生产成本。

主权项

1.一种化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，包括用于交替对基体进行支承的交替支承机构，所述交替支承机构包括至少两组支承件和用于驱动支承件交替支承基体的交替驱动机构；其中，所述交替驱动机构包括至少两个设置在支承板上呈环形的滑槽以及用于驱动支承件在滑槽中移动的动力机构；所述滑槽包括支承段和交替段，所述交替段的高度低于支承段的高度；每组支承件至少包括两个支承件，且沿着圆周方向均匀分布在滑槽的上方；当支承件的下端移动至支承段时，其上端支承在基体的下端面，当支承件的下端移动至交替段时，其上端远离基体；工作时，至少有一组支承件位于支承段上。