[实用新型]无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置有效
| 申请号： | 201821271334.2 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN208520339U | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 余卿;张昆;张一;崔长彩;程方;周瑞兰;邹景武 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;张迪 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置，包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统；复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜；还包括一光谱仪，所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤；所述光谱仪连接所述输出光纤，所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统；还包括一扫描系统，所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维移动台；所述待测件置于所述二维移动台上。应用本技术方案可实现扫描物体三维形貌不需要进行轴向扫描，装置调试使用方便，缩短了测量时间。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱仪 轴向扫描 三维形貌检测装置 数据处理系统 复色光源 聚焦透镜 扫描系统 输出光纤 依次设置 分光镜 驱动器 针孔 本实用新型 二维移动台 波长特性 步进电机 二维移动 三维形貌 扫描物体 色散物镜 输入光纤 装置调试 被测件 待测件 准直镜 调焦 物方 像方 小孔 测量 应用 | ||
【主权项】：
1.一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置，其特征在于包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统；复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜；还包括一光谱仪，所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤；所述光谱仪连接所述输出光纤，所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统；所述复色光源、输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜与被测件形成检测光路；所述分光镜、像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤与光谱仪形成接收光路；所述检测光路与接收光路垂直；还包括一扫描系统，所述扫描系统安装于所述物方聚焦透镜的下方，且与检测光路的光轴垂直；所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维移动台；所述被测件置于所述二维移动台上。
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