[实用新型]一种真空铸铝加热器

摘要

本实用新型公开了一种真空铸铝加热器，包括导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与导热板连接，不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部。导热板和不锈钢加热管及温度传感器的探头端铸造融合，传热效果好且测温更准确；密封垫片实现了套线管和法兰一的真空密封；法兰一与不锈钢加热管及温度传感器的导线管焊接或采用金属胶以实现真空密封及冷却降温；水冷却法兰密封件与镀膜腔室及套线管之间采用密封圈实现真空密封及冷却降温。

主权项

1.一种真空铸铝加热器，其特征在于，包括：导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；所述导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；所述套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与所述导热板连接，所述不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部；所述导热板与套线管连接；所述导热板与不锈钢加热管的连接处采用铝合金铸造融合连接；所述导热板与温度传感器的探头端采用铝合金铸造融合连接；位于镀膜腔室外部的所述套线管端部连接有法兰一，所述不锈钢加热管与所述法兰一通过焊接或金属胶密封连接，所述温度传感器的导线管与所述法兰一通过焊接或金属胶密封连接；所述腔室下板的外部安装有与所述套线管紧配连接的法兰二。