[实用新型]具有表面凹槽结构的曲面基板有效
申请号: | 201821280323.0 | 申请日: | 2018-08-09 |
公开(公告)号: | CN208922057U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 翁沛喜;许铭案 | 申请(专利权)人: | 许铭案;翁沛喜 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K5/02 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 刘淑敏 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有表面凹槽结构的曲面基板,包括:一曲面基板,该曲面基板的表面具有至少一个凹槽结构的图案,且该图案的分辨率介于0.1‑100微米之间,本实用新型的具有表面凹槽结构的曲面基板具有可实现图案化、低成本、图案高分辨率的优点。 | ||
搜索关键词: | 曲面基板 表面凹槽 图案 本实用新型 凹槽结构 高分辨率 低成本 图案化 分辨率 | ||
【主权项】:
1.一种具有表面凹槽结构的曲面基板,其特征在于,包括:一曲面基板,该曲面基板的表面具有至少一个凹槽结构的图案,且该图案的分辨率介于0.1‑100微米之间。
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