[实用新型]一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置有效
| 申请号： | 201821280380.9 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208537105U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 魏云飞;朱会敏 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，包括均设置在曝光机腔体内部的检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器，所述检测容器设置在冷凝管道下方，所述漏水传感器的触角伸入检测容器内，所述漏水传感器的输出接口连接时间继电器的线圈负极控制端，所述时间继电器的线圈正极控制端连接直流低压电源，所述时间继电器的常开触点的一端连接直流低压电源，另一端连接双路继电器的线圈正极控制端，所述双路继电器的线圈负极控制端接地，所述双路继电器的常闭触点的一端连接外部供电线路，另一端连接曝光组件。本实用新型能够在曝光机腔体内部出现浸水情况时自动切断曝光组件的供电线路，消除了安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 时间继电器 双路继电器 一端连接 控制端 曝光机 漏水传感器 漏水检测装置 直流低压电源 本实用新型 激光直写 曝光组件 腔体内部 线圈负极 线圈正极 检测 浸水 外部供电线路 安全隐患 常闭触点 常开触点 供电线路 冷凝管道 容器设置 输出接口 自动切断 接地 伸入 触角 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，其特征在于：该装置包括检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器，所述检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器均设置在曝光机的腔体内部，所述检测容器设置在冷凝管道下方，所述漏水传感器的触角伸入检测容器内，所述漏水传感器的一个供电接口连接直流低压电源，另一个供电接口接地，所述漏水传感器的输出接口连接时间继电器的线圈负极控制端，所述时间继电器的线圈正极控制端连接直流低压电源，所述时间继电器的常开触点的一端连接直流低压电源，另一端连接双路继电器的线圈正极控制端，所述双路继电器的线圈负极控制端接地，所述双路继电器的常闭触点的一端连接外部供电线路，另一端连接曝光组件。
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