[实用新型]磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机有效
| 申请号： | 201821280613.5 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208733217U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李国伟;王剑涛;陈发伟;李兆廷 | 申请（专利权）人： | 东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 刘兵;刘伟 |
| 地址： | 100075 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射镀膜领域，公开了一种磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机。该磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板包括端板a(1)、中板(2)和端板b(3)，所述中板(2)对侧边缘上设有方向相反的阶梯型拼合槽，所述端板a(1)的一侧边缘上设有与所述中板(2)上的阶梯型拼合槽配合使用的阶梯型拼合槽，所述端板b(3)的一侧边缘上设有与所述中板(2)上的阶梯型拼合槽配合使用的阶梯型拼合槽，所述中板(2)位于端板a(1)和端板b(3)之间，且通过相互配合使用的阶梯型拼合槽接合。本实用新型提供的阴极背板在高温下具有良好的稳定性、强度及耐蚀性能，满足面板级玻璃连续镀膜生产的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 阶梯型 端板 拼合 磁控溅射 平面阴极 镀膜机 阴极背板 本实用新型 一侧边缘 槽配合 磁控溅射镀膜 方向相反 连续镀膜 耐蚀性能 接合 侧边缘 玻璃 生产 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板，其特征在于，所述阴极背板包括端板a(1)、中板(2)和端板b(3)，所述中板(2)对侧边缘上设有方向相反的阶梯型拼合槽，所述端板a(1)的一侧边缘上设有与所述中板(2)上的阶梯型拼合槽配合使用的阶梯型拼合槽，所述端板b(3)的一侧边缘上设有与所述中板(2)上的阶梯型拼合槽配合使用的阶梯型拼合槽，所述中板(2)位于端板a(1)和端板b(3)之间，且通过相互配合使用的阶梯型拼合槽接合。
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