[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821284464.X | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN209299518U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 宣钟元 | 申请（专利权）人： | DBHiTek株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 侯聪 |
| 地址： | 韩国首尔*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种MEMS麦克风包括：基板，其具有空腔；背板，其设置在基板上方并具有多个声孔；膜片，其设置在基板和背板之间，膜片与基板和背板间隔开，覆盖空腔以在背板之间形成气隙，并且被配置为根据声压产生位移；和多个锚，其从膜片的端部延伸以与膜片一体形成，锚沿膜片的圆周布置成彼此间隔开，并且具有与基板的上表面接触的下表面以支撑膜片。因此，MEMS麦克风可具有改善的刚性和柔性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 膜片 背板 空腔 背板间隔 端部延伸 一体形成 圆周布置 支撑膜片 上表面 下表面 气隙 声孔 声压 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其中包括：基板，其具有空腔；背板，其设置在所述基板上方并具有多个声孔；膜片，其设置在所述基板和所述背板之间，所述膜片与所述基板和所述背板间隔开，覆盖所述空腔以在所述背板之间形成气隙，并且被配置为根据声压产生位移；和多个锚，其从所述膜片的端部延伸以与所述膜片一体形成，所述锚沿所述膜片的圆周布置成彼此间隔开，并且具有与所述基板的上表面接触的下表面以支撑所述膜片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于DBHiTek株式会社，未经DBHiTek株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821284464.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种耳机及其发声装置
- 下一篇：低干扰播放组件以及移动终端
