[实用新型]CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源

摘要

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，机体外框架(101)的左右两侧分别竖向设置有两块竖向安装板(102)，且竖向安装板(102)的内壁上由下往上平行设置有多组导向组件(103)，每个导向组件(103)包含有两条水平设置的导轨，电源模块(104)的两侧滑动安装于导向组件(103)的导轨上，所述电源模块(104)包含有壳体(1)，水冷组件(2)安装于壳体(1)内。本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，能够根据客户需求进行随意级联扩展，从而有效的降低了其设计制造难度和生产成本，同时便于小型化布局，并且通过水冷方式，大大提高了散热性能，保证了半导体器件始终工作在线形范围内，保证了输出的稳定性。

主权项

1.一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，其特征在于：所述电源包含有机体外框架(101)，所述机体外框架(101)的左右两侧分别竖向设置有两块竖向安装板(102)，且竖向安装板(102)的内壁上由下往上平行设置有多组导向组件(103)，每个导向组件(103)包含有两条水平设置的导轨，电源模块(104)的两侧滑动安装于导向组件(103)的导轨上，且机体外框架(101)的底部安装有总空气开关(105)，所述总空气开关(105)位于电源模块(104)的下方，电缆进线经机体外框架(101)底部的进线孔进入后连接至总空气开关(105)的进线端，所述总空气开关(105)的出线端连接至竖向设置的进线总铜排(108)，进线总铜排(108)经多个连接片分别连接至多个电源模块(104)的进线端子(3)上，电源模块(104)的出线铜排(4)连接至竖向设置的出线总铜排(109)，且电源模块(104)内设置有水冷组件(2)；所述电源模块(104)包含有壳体(1)，水冷组件(2)安装于壳体(1)内；所述壳体(1)的背板上设置有进水端子安装孔(1.1)和出水端子安装孔(1.2)，所述水冷组件(2)包含有水冷铝板(2.1)，所述水冷铝板(2.1)内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子(2.2)和出水端子(2.3)，且进水端子(2.2)和出水端子(2.3)分别嵌置于进水端子安装孔(1.1)和出水端子安装孔(1.2)内。