[实用新型]一种均匀型湿法刻蚀装置

摘要

本实用新型公开了一种均匀型湿法刻蚀装置，包括：刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台，所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部，所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方，所述若干分流筒分别固定连接所述若干转轴。通过上述方式，本实用新型均匀型湿法刻蚀装置通过采用若干分流筒等间距水平排列在进液口的下方，将刻蚀液均匀分散下落到刻蚀腔内，防止刻蚀液分散不均导致刻蚀不均，有利于提高刻蚀的均匀度和品质，结构新颖、操作简便、性能稳定、方便实用，在均匀型湿法刻蚀装置的普及上有着广泛的市场前景。

主权项

1.一种均匀型湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台，所述进液口连通连接所述刻蚀腔的顶部，所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部且朝向所述进液口，所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方，所述若干分流筒分别固定连接所述若干转轴随所述转轴转动，所述电机设置在所述刻蚀腔的底部，所述电机连接并驱动所述转台转动，所述转台位于所述刻蚀腔的内部的底部，所述刻蚀台固定连接所述转台随所述转台转动，所述刻蚀台朝向所述若干分流筒。