[实用新型]一种板式PECVD的自动下料设备有效
申请号: | 201821286325.0 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN209023749U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 陈剑雨;王树林;倪鹏玉;陈清彬;姚晓宇 | 申请(专利权)人: | 福建钜能电力有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 351111 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种板式PECVD的自动下料设备,包括空料盒传入与满料盒排出机构、料盒升降机构、缓冲料盒、出片翻转机构、平移升降机构、龙门式取片机构、取片托板和载板升降机构,所述空料盒传入与满料盒排出机构由两组并排设置在设备一侧的空料盒传入段和满料盒排出段组成,空料盒传入段设置满料盒排出段上方,空料盒传入与满料盒排出机构与料盒升降机构连接,料盒升降机构至平移升降机构之间设置有缓冲料盒和出片翻转机构,平移升降机构设置在取片托板侧面,龙门式取片机构架设在取片托板上方,取片托板设置在载板升降机构上。本实用新型可以实现自动取片、插片快速准确,在提升下料速度的同时,保证下料质量,实现板式PECVD下料的自动化、高效率。 | ||
搜索关键词: | 空料盒 满料盒 取片 料盒升降机构 平移升降机构 板式 排出机构 托板 下料 自动下料设备 本实用新型 翻转机构 取片机构 升降机构 缓冲料 龙门式 排出段 出片 载板 并排设置 托板侧面 自动取片 高效率 插片 两组 架设 自动化 保证 | ||
【主权项】:
1.一种板式PECVD的自动下料设备,其特征在于:包括空料盒传入与满料盒排出机构(1)、料盒升降机构(2)、缓冲料盒(4)、出片翻转机构(6)、平移升降机构(7)、龙门式取片机构(8)、取片托板(9)和载板升降机构(10),所述空料盒传入与满料盒排出机构(1)由两组并排设置在设备一侧的空料盒传入段(11)和满料盒排出段(12)组成,所述空料盒传入段(11)设置满料盒排出段(12)上方,所述空料盒传入与满料盒排出机构(1)与料盒升降机构(2)连接,所述料盒升降机构(2)至平移升降机构(7)之间设置有缓冲料盒(4)和出片翻转机构(6),所述平移升降机构(7)设置在取片托板(9)侧面,所述龙门式取片机构(8)架设在取片托板(9)上方,所述取片托板(9)设置在载板升降机构(10)上。
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