[实用新型]一种N衬底单向骤回TVS器件有效
| 申请号： | 201821296131.9 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN208722884U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王允;蒋骞苑;赵德益;苏海伟;叶毓明;赵志方;冯星星;吴青青;张利明;周显华 | 申请（专利权）人： | 上海长园维安微电子有限公司;中兴通讯股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/861;H01L21/329 |
| 代理公司： | 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 | 代理人： | 衣然 |
| 地址： | 201202 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种浅槽结构N衬底单向骤回TVS器件，包括N衬底TVS芯片和基岛，所述N衬底TVS芯片背面粘合在所述基岛上，其特征在于：所述N衬底TVS芯片背面P区与背面氧化层之间挖有浅槽，槽内填充有不含铅的绝缘材料填充物。本实用新型增加了背面浅槽，通过背面挖浅槽后氧化和填充工艺，将背面容易发生短路的位置保护起来，更换上芯工艺为刷胶工艺，避免了侧面溢胶问题，降低了短路风险；本实用新型浅槽工艺更利于背面填平，能够降低刷胶难度和对设备的损耗，提高上芯效率；本实用新型通过开发新型胶水，避免浪涌冲击时爆管和毛刺问题，提高了产品稳定性；本实用新型浅槽填充可选填充物可满足客户对RoHS和PB free要求。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 背面 衬底 浅槽 填充 短路 基岛 上芯 刷胶 绝缘材料填充物 背面氧化层 产品稳定性 填充物 浪涌冲击 毛刺问题 浅槽结构 位置保护 新型胶水 溢胶问题 对设备 粘合 爆管 可选 填平 侧面 客户 开发 | ||
【主权项】：
1.一种N衬底单向骤回TVS器件，包括N衬底TVS芯片和基岛，所述N衬底TVS芯片背面粘合在所述基岛上，其特征在于：所述N衬底TVS芯片背面P区与背面氧化层之间挖有浅槽，槽内填充有不含铅的绝缘材料填充物。
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