[实用新型]气体流量控制模块有效
| 申请号： | 201821314456.5 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN208477386U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王宏亮;史殿龙;迟方圆;孔艳超;周济翠 | 申请（专利权）人： | 青岛众瑞智能仪器有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 雷斐 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气体流量控制，尤其是一种气体流量控制模块。包括缓冲固定箱体、抽气泵、控制板和孔口流量计，所述抽气泵固定设置在缓冲固定箱体内，控制板和孔口流量计设置在缓冲固定箱体的外侧，缓冲固定箱体上设有进气口和排气口，孔口流量计与缓冲固定箱体的进气口连通，气体通过孔口流量计进入缓冲固定箱体内，抽气泵的出气口与缓冲固定箱体的排气口连通，缓冲固定箱体内的气体通过抽气泵排出，所述控制板分别通过导线与孔口流量计、抽气泵连接。其结构简单，安装方便，实现流量精准控制的同时，能够实现空间的高效利用。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲固定 抽气泵 孔口流量计 气体流量控制 控制板 进气口 排气口 连通 流量计 本实用新型 气体通过孔 安装方便 高效利用 固定设置 精准控制 气体通过 出气口 排出 | ||
【主权项】：
1.一种气体流量控制模块，其特征在于：包括缓冲固定箱体(4)、抽气泵(3)、控制板(2)和孔口流量计(1)，所述抽气泵(3)固定设置在缓冲固定箱体(4)内，控制板(2)和孔口流量计(1)设置在缓冲固定箱体(4)的外侧，缓冲固定箱体(4)上设有进气口和排气口，孔口流量计(1)与缓冲固定箱体(4)的进气口连通，气体通过孔口流量计(1)进入缓冲固定箱体(4)内，抽气泵(3)的出气口与缓冲固定箱体(4)的排气口(9)连通，缓冲固定箱体(4)内的气体通过抽气泵(3)排出，所述控制板(2)分别通过导线(6)与孔口流量计(1)、抽气泵(3)连接。
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