[实用新型]一种稳定的轻离轴干涉显微装置有效
| 申请号： | 201821319961.9 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN208595888U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 郭荣礼;王凡;路绍军;张维光;韩峰;于洵 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/36 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种稳定的轻离轴干涉显微装置，适用于反射式样品的定量精确测量。以克服现有技术存在的结构复杂、光路调整困难，以及时间分辨率低的问题。本实用新型装置包括沿光轴方向依次设置有LED照明单元、干涉显微单元和成像单元；所述LED照明单元包括沿光轴方向依次设置的LED光源、倒置的第一显微物镜、小孔光阑和第一透镜；所述的干涉显微单元包括沿光轴方向依次设置的第二透镜、第二显微物镜和第二分光棱镜，第二分光棱镜的反射光路上设置有反射镜，所述第二显微物镜工作距离的长度大于第二分光棱镜的长度；所述的成像单元包括设置于第一透镜和第二透镜之间的第一分光棱镜，CCD相机的入射面设置于第一分光棱镜的反射光路上。 | ||
| 搜索关键词： | 分光棱镜 透镜 光轴方向 显微物镜 依次设置 干涉 本实用新型 成像单元 显微单元 显微装置 反射光 离轴 时间分辨率 工作距离 光路调整 小孔光阑 倒置 反射镜 反射式 入射面 测量 | ||
【主权项】：
1.一种稳定的轻离轴干涉显微装置，其特征在于：沿光轴方向依次设置有LED照明单元、干涉显微单元和成像单元；所述LED照明单元包括沿光轴方向依次设置的LED 光源（1）、倒置的第一显微物镜（2）、小孔光阑（3）和第一透镜（4）；所述的干涉显微单元包括沿光轴方向依次设置的第二透镜（6）、第二显微物镜（7）和第二分光棱镜（8），第二分光棱镜（8）的反射光路上设置有反射镜（10），所述第二显微物镜（7）工作距离的长度大于第二分光棱镜（8）的长度；所述的成像单元包括设置于第一透镜（4）和第二透镜（6）之间的第一分光棱镜（5），CCD相机（11）的入射面设置于第一分光棱镜（5）的反射光路上。
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