[实用新型]一种高效硅片清洗机

摘要

本实用新型公开了一种高效硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域，包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置，清洗槽包括多个清洗箱，清洗箱内设置药剂箱、液位计、温度传感器、进水管、出水管和超声波发生器，硅片挂篮用于放置硅片并放置于清洗箱内，干燥装置采用离心干燥和热风干燥两种方式，硅片挂篮搬运装置将硅片挂篮从上一个清洗箱搬运至下一个清洗箱，第四个清洗箱内的硅片挂篮搬运至干燥装置中，挂钩脱离硅片挂篮，硅片搬运装置恢复回上一个清洗箱上方，挂钩与新的硅片挂篮结合，硅片搬运装置重复上述运动。本实用新型供具有清洗效果更好、药剂自动添加、硅片自动搬运和干燥等优点。

主权项

1.一种高效硅片清洗机，其特征在于：包括清洗槽（1）、硅片挂篮（2）、干燥装置（3）、PLC控制箱（4）和挂篮搬运装置（5），所述PLC控制箱（4）、清洗槽（1）和干燥装置（3）依次设置；所述清洗槽（1）包括依次排布的多个清洗箱（6），所述清洗箱（6）左侧设置有药剂箱（7），所述药剂箱（7）底部设置有加药管（8），所述加药管（8）上设置加药阀（9）和加药流量计（10），所述药剂箱（7）下方设置加热装置（11），所述清洗箱（6）右侧由上到下依次设置液位计（12）和温度传感器（13），所述清洗箱（6）底部左右两端分别设置进水管（14）和出水管（15），所述进水管（14）和出水管（15）上分别设置进水电磁阀（16）和出水电磁阀（17），所述各个进水管（14）通过进水总管（18）相连，所述各个出水管（15）通过出水总管（19）相连，所述进水管（14）与出水管（15）之间设置超声波发生器（20）；所述硅片挂篮（2）用于放置硅片，所述硅片挂篮（2）放置于清洗箱（6）内，所述硅片挂篮（2）底面和四个侧壁均设置有小孔；所述干燥装置（3）包括干燥箱体（21），所述干燥箱体（21）底部左右两侧均设置有排水管（22），所述排水管（22）上设置排水阀（23），所述排水管（23）和出水总管（19）相连，所述排水管（23）之间设置有干燥甩盘（24），所述干燥甩盘（24）连接干燥电机联轴器（25），所述干燥电机联轴器（25）和干燥电机（26）相连，所述干燥箱体（21）侧壁设置有湿度传感器（27）和温度传感器（13），所述干燥箱体（21）底面设有进气管（28），所述进气管（28）上设置有加热装置（11）和风机（29），所述硅片挂篮（2）放置在干燥甩盘（24）上，所述干燥箱体（21）上还设置有防撞环（30）；所述挂篮搬运装置（5）包括龙门支架（31）、横向丝杆（32）、横向电机（33）、伸缩式液压杆（34）、电机安装板（35）、横向移动块（36）、横杆（37）和两个横向丝杆固定座（38），所述龙门支架（31）右上方设置电机安装板（35），所述电机安装板（35）上设置横向电机（33），所述横向电机（33）通过联轴器和横向丝杆（32）相连，所述横向丝杆（32）通过轴承和横向丝杆固定座（38）相连，所述横向丝杆固定座（38）另一端和龙门支架（31）相连，所述横向丝杆（32）和横向移动块（36）通孔相配合，所述横向移动块（36）下端和横杆（37）固定连接，所述横杆（37）上均匀设置四个伸缩式液压杆（34），所述伸缩式液压杆（34）输出端固定连接挂钩机构，所述挂钩机构包括连接杆（39）和两个挂钩（40），所述挂钩（40）底部挂有硅片挂篮；所述PLC控制箱（4）包括PLC控制器（41）、指示灯（42）和显示屏（43），所述PLC控制器（41）与指示灯（42）、显示屏（43）、进水电磁阀（16）、出水电磁阀（17）、加药阀（9）、加药流量计（10）、液位计（12）、超声波发生器（20）、温度传感器（13）、干燥电机（26）、湿度传感器（27）、加热装置（11）、风机（29）、排水阀（23）、收缩式液压杆（34）和横向电机（33）相连。