[实用新型]一种ITO靶材的烧结装置有效
| 申请号： | 201821322611.8 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN208704444U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘洪浩 | 申请（专利权）人： | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B21/00 | 分类号： | F27B21/00 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 冯现伟 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO靶材的烧结装置，包括进料口、外壳体、内壳体与蓄水底座，所述外壳体的顶部设置有进料口，且进料口的顶部固定安装有防尘装置，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述内壳体内部的两侧皆设置有保温层，且保温层的一侧固定安装有加热硅钼棒，所述内壳体的底部固定安装有电机，所述电机的输出端转动安装有轴杆，且轴杆的两侧皆固定安装有搅拌杆，所述外壳体的底部固定安装有蓄水底座，所述蓄水底座的顶部固定安装有水泵，所述外壳体的表面固定安装有散热装置。本实用新型通过设置有一系列的结构使得该ITO靶材的烧结装置加快ITO靶材的烧结的速度，且还可以进行循环对壳体进行循环的冷却，以便ITO靶材的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 外壳体 烧结装置 蓄水底座 进料口 内壳体 本实用新型 保温层 轴杆 电机 加热硅钼棒 表面固定 顶部设置 防尘装置 内部设置 散热装置 转动安装 烧结 搅拌杆 输出端 体内部 对壳 内壳 水泵 冷却 生产 | ||
【主权项】：
1.一种ITO靶材的烧结装置，包括进料口(1)、外壳体(11)、内壳体(12)与蓄水底座(14)，其特征在于：所述外壳体(11)的顶部设置有进料口(1)，且进料口(1)的顶部固定安装有防尘装置(10)，所述外壳体(11)的内部设置有内壳体(12)，所述内壳体(12)内部的两侧皆设置有保温层(3)，且保温层(3)的一侧固定安装有加热硅钼棒(4)，所述内壳体(12)的底部固定安装有电机(7)，所述电机(7)的输出端转动安装有轴杆(5)，且轴杆(5)的两侧皆固定安装有搅拌杆(6)，所述外壳体(11)的底部固定安装有蓄水底座(14)，所述蓄水底座(14)的顶部固定安装有水泵(13)，且水泵(13)位于外壳体(11)的一侧，所述水泵(13)的输出端通过管道(2)与蓄水底座(14)相连接，所述水泵(13)的输入端通过管道(2)与蓄水底座(14)相连接，且管道(2)位于外壳体(11)与内壳体(12)之间，所述蓄水底座(14)的一侧设置有进水口(9)，且进水口(9)的一侧活动安装有第一盖体(8)，所述外壳体(11)的表面通过合页活动安装有门体(15)，所述外壳体(11)的表面固定安装有散热装置(20)，且散热装置(20)位于门体(15)的底部，所述外壳体(11)的一侧固定安装有控制按钮(18)。
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