[实用新型]一种ITO靶材放置装置有效
| 申请号： | 201821322612.2 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN208584536U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘洪浩 | 申请（专利权）人： | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B25H3/04 | 分类号： | B25H3/04 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 冯现伟 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO靶材放置装置，包括第一支架、底座与第二支架，所述底座顶部的两侧皆固定安装有第一支架，且第一支架的顶部活动安装有第二支架，所述第一支架与第二支架的连接处设置有连接装置，所述第一支架与第二支架的表面皆设置有卡槽，所述第一支架与第二支架之间皆固定安装有放置板，且放置板的两端皆通过铰链活动安装有挡板，所述挡板的表面通过铰接轴活动安装有与卡槽相互配合使用的轴杆，所述放置板的两侧皆固定安装有滑动装置，且滑动装置之间固定安装有限位杆。本实用新型通过设置有一系列的结构使得该ITO靶材放置装置在放置时稳定性好，且便于拆装。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 放置装置 放置板 本实用新型 滑动装置 活动安装 挡板 卡槽 便于拆装 底座顶部 铰链活动 连接装置 铰接轴 位杆 轴杆 底座 | ||
【主权项】：
1.一种ITO靶材放置装置，包括第一支架(4)、底座(5)与第二支架(7)，其特征在于：所述底座(5)顶部的两侧皆固定安装有第一支架(4)，且第一支架(4)的顶部活动安装有第二支架(7)，所述第一支架(4)与第二支架(7)的连接处设置有连接装置(3)，所述第一支架(4)与第二支架(7)的表面皆设置有卡槽(9)，所述第一支架(4)与第二支架(7)之间皆固定安装有放置板(2)，且放置板(2)的两端皆通过铰链(11)活动安装有挡板(1)，所述挡板(1)的表面通过铰接轴(10)活动安装有与卡槽(9)相互配合使用的轴杆(8)，所述放置板(2)的两侧皆固定安装有滑动装置(14)，且滑动装置(14)之间固定安装有限位杆(13)。
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