[实用新型]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 201821324947.8 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN209024636U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 郑良结;曾德春;江湖;吴建清 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种镀膜设备，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门之间。由于溅射腔上连接有保护件，且保护件位于溅射腔与腔门之间，从而在腔门的安装过程中，腔门只会与保护件产生碰撞，而不会与溅射腔产生碰撞，这样，能够减少对溅射腔尤其是溅射腔的腔口处的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射腔 腔门 保护件 镀膜设备 本实用新型 可拆卸连接 安装过程 腔口处 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：溅射腔；用于开启或关闭所述溅射腔的腔门；以及，保护件，可拆卸连接于所述溅射腔上，并位于所述溅射腔与所述腔门之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于米亚索乐装备集成（福建）有限公司，未经米亚索乐装备集成（福建）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821324947.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种红外高透的高反ec镜片镀膜装置
- 下一篇：一种氮化钛复合膜
- 同类专利
- 专利分类
