[实用新型]多晶硅生产中超纯氢气的纯化装置有效
| 申请号： | 201821329027.5 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN208700568U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘铭;朱顺云;侯哲辉;张才利;郭民;危胜;栗一甲;杜斌功;胡亚萍 | 申请（专利权）人： | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50;C01B3/56;C01B3/52 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 810000 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型属于多晶硅生产中氢气的纯化技术领域，涉及多晶硅生产中超纯氢气的纯化装置。本实用新型的多晶硅生产中超纯氢气的纯化装置，包括除氧器和氢气超纯化装置，氢气超纯化装置内设置有低温换热器和多个串联的吸附罐，多个串联的吸附罐浸泡在液氮中；除氧器的进口与原料氢气的进气管道连接，除氧器的出口与低温换热器连接，低温换热器与吸附罐连接；吸附罐上设置有氢气出口管道，在吸附罐的氢气出口管道上并联一个设有氢气在线检测分析装置的管道。本实用新型能够提高氢气净化的纯度，同时降低氢气超纯化的成本，并且该装置设备简单，成本较低，运行稳定可靠，得到的产品纯度稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化装置 氢气 吸附罐 多晶硅生产 本实用新型 低温换热器 超纯氢气 除氧器 氢气出口管道 串联 在线检测分析装置 产品纯度 进气管道 氢气净化 原料氢气 运行稳定 装置设备 并联 液氮 浸泡 进口 出口 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产中超纯氢气的纯化装置，其特征在于，包括除氧器和氢气超纯化装置，氢气超纯化装置内设置有低温换热器和多个串联的吸附罐，多个串联的吸附罐浸泡在液氮中；除氧器的进口与原料氢气的进气管道连接，除氧器的出口与低温换热器连接，低温换热器与吸附罐连接；吸附罐上设置有氢气出口管道，在吸附罐的氢气出口管道上并联一个设有氢气在线检测分析装置的管道。
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