[实用新型]一种空间光路的光栅尺标定装置

摘要

本实用新型提供一种空间光路的光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，所述测量装置设置于运动台上；测量装置包括一具有凹槽结构的承载台承载台，凹槽结构的底面上设置有4个平面光栅，在每个平面光栅的上方设置有一读头；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。

主权项

1.一种空间光路的光栅尺标定装置，其特征在于，该标定装置包括运动台(7)和测量装置，所述运动台处于封闭的微环境区域(10)内，所述测量装置设置于运动台上，随运动台运动；所述测量装置包括具有第一平面和第二平面的承载台(913)，所述第一平面与第二平面相互平行；所述第一平面向所述第二平面凹陷形成一凹槽结构，在所述凹槽结构的底面上设置有4个平面光栅(908)，每个所述平面光栅分别处于一四边形的顶点处；在每个所述平面光栅的上方设置有一读头；所述承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜(906)，所述第二反射镜设置于该第二反射镜所在侧面的上区域，由所述上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜(905)，所述第四反射镜与所述第二反射镜的夹角大于90°；所述承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜(907)；所述测量装置还包括第一干涉仪(901)、第二干涉仪(903)和第三干涉仪(902)，所述第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，所述第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；所述测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜；该标定装置还包括框架(8)和平台(3)，所述框架设置于所述平台上，所述框架围绕所述测量装置设置；所述框架处于所述微环境区域(10)内，所述读头固定于所述框架上；4个所述读头处于同一平面。