[实用新型]石英管防划伤装置有效
申请号: | 201821341943.0 | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN208663580U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 葛怀庆;孙友巍;李晨;孙嵩泉 | 申请(专利权)人: | 普乐新能源(蚌埠)有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 张建宏;和聚龙 |
地址: | 233030 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型给出了一种石英管防划伤装置;包括定位板和两个保护座,所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;定位板分别与两个保护座固定连接。保护座与管状桨固定,管状桨在长期高温环境中,管状桨会有下弯,保护座代替管状桨与LPCVD管炉内壁接触,防止在取料的过程中,管状桨端部对炉管壁划伤;而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置,避免两个管状桨之间距离发生改变,影响载片舟的固定。 | ||
搜索关键词: | 保护座 定位板 防划伤装置 桨端部 石英管 管炉 一一对应关系 本实用新型 高温环境 内壁接触 炉管壁 载片舟 划伤 内孔 取料 伸入 下弯 | ||
【主权项】:
1.一种石英管防划伤装置,其特征为:包括定位板和两个保护座,所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;定位板分别与两个保护座固定连接。
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