[实用新型]堆栈式芯片硅基质量检测装置有效

专利信息
申请号: 201821349801.9 申请日: 2018-08-21
公开(公告)号: CN208847672U 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 宋扬;柏泽青;陈学良 申请(专利权)人: 天津小庚电子科技有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95
代理公司: 北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙) 11684 代理人: 汪发成
地址: 300000 天津市津南区津南经*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及芯片生产设备技术领域,且公开了堆栈式芯片硅基质量检测装置,包括支座一,所述支座一的顶部固定连接有支撑板一,所述支撑板一的顶部固定连接有摄像装置,所述支座一的顶部且位于支撑板一的右侧固定连接有两个支撑板二,所述支撑板二的顶部固定连接有机械手。该堆栈式芯片硅基质量检测装置,待检测的硅基元件通过产品传输带向右传送,并依次经过摄像装置和机械手的下方,摄像装置对硅基元件进行快速拍照,并反馈给图像处理器,图像处理器对图形图像进行分析处理,将信息反馈给抓取处理器,抓取处理器接收到信息后驱动机械手对不合格的硅基元件进行抓取,该方式实现了堆栈式芯片硅基的检测自动化,工作效率高。
搜索关键词: 支撑板 堆栈式 硅基 抓取 质量检测装置 硅基元件 摄像装置 芯片 图像处理器 机械手 处理器 芯片生产设备 本实用新型 产品传输带 工作效率高 分析处理 图形图像 信息反馈 有机械手 后驱动 检测 拍照 自动化 传送 反馈
【主权项】:
1.堆栈式芯片硅基质量检测装置,包括支座一(1),其特征在于:所述支座一(1)的底部固定连接有支腿一(2),所述支座一(1)的内部转动连接有产品传输带(3),所述支座一(1)底部的左侧固定连接有与产品传输带(3)相连接的电机一(4),所述产品传输带(3)的顶部放置有硅基元件(5),所述支座一(1)的顶部固定连接有支撑板一(6),所述支撑板一(6)的顶部固定连接有摄像装置(7),所述支撑板一(6)的顶部且位于摄像装置(7)的正面固定连接有与摄像装置(7)电连接的图像处理器(8),所述支座一(1)的顶部且位于支撑板一(6)的右侧固定连接有两个支撑板二(9),所述支撑板二(9)的顶部固定连接有机械手(10),所述支撑板二(9)的顶部且位于机械手(10)的正面固定连接有与机械手(10)电连接的抓取处理器(11),所述支座一(1)的背面放置有支座二(12),所述支座二(12)的底部固定连接有支腿二(13),所述支座二(12)的内部转动连接有次品传输带(14),所述支座二(12)底部的左侧固定连接有与次品传输带(14)相连接的电机二(15),所述支座二(12)顶部的正面和背面均固定连接有挡板(16),两个所述挡板(16)相对面的一侧之间固定连接有三个隔板(17),两个所述挡板(16)相对面的一侧之间且位于中间隔板(17)的两侧均固定连接有挡片(18),同一侧的两个所述挡片(18)的顶部固定连接有收集箱(19),所述支撑板二(9)的顶部且位于机械手(10)的背面固定连接有延伸至收集箱(19)上方的滑板(20)。
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