[实用新型]微针肋簇阵列微通道微型换热器有效
| 申请号： | 201821350485.7 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN209045535U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 宗露香;夏国栋;汤宇轩;马丹丹 | 申请（专利权）人： | 华北电力大学（保定）;北京工业大学 |
| 主分类号： | H01L23/427 | 分类号： | H01L23/427 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 071003 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 微针肋簇阵列微通道微型换热器，属于于微电子技术强化换热领域。本装置结构包括依次堆叠封装在一起的封装片1)，基板(2)；封装片(1)上开有与外部管路连接的流体入口(3)和流体出口(4)；基板正面加工微针肋簇阵列微通道(5)、入口储液池和出口储液池。微针肋簇阵列内微针肋簇单元顺列布置，X方向间距L和Y方向间距Lb，以及微针肋簇单元结构尺寸X方向La和Y方向H，均可根据实际需求通过优化设计经MEMS加工技术实现。本实用新型相比较一般微通道微型换热器，可满足更大功率电子芯片的散热，具有沸腾起始点壁面温度更低，流动沸腾压力降更低，芯片上温度分布均匀性更高等优点，使高热流电子器件实现更高效热管理。 | ||
| 搜索关键词： | 微针 微通道 微型换热器 储液池 封装片 温度分布均匀性 本实用新型 微电子技术 单元结构 电子器件 电子芯片 堆叠封装 沸腾压力 更大功率 基板正面 技术实现 流体出口 流体入口 强化换热 实际需求 外部管路 优化设计 装置结构 高热流 起始点 热管理 散热 壁面 基板 沸腾 芯片 流动 加工 出口 | ||
【主权项】：
1.微针肋簇阵列微通道微型换热器，其特征在于，包括由依次堆叠封装在一起的封装片(1)、基板(2)；封装片(1)上开有与外部管路连接的流体入口(3)和流体出口(4)；基板正面加工微针肋簇阵列微通道(5)、入口储液池(6)和出口储液池(7)，入口储液池(6)和出口储液池(7)分别位于微针肋簇阵列微通道(5)的两侧，流体入口(3)和入口储液池(6)上下相对，流体出口(4)和出口储液池(7)上下相对；所述的微针肋簇阵列微通道(5)采用多个微针肋簇单元(10)顺列或错列而成；每一个微针肋簇单元(10)由多个独立的微针肋柱排列而成。
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