[实用新型]一种全自动探针检测台及其结构紧凑的探针定位模组

摘要

本实用新型公开了一种全自动探针检测台及其结构紧凑的探针定位模组，包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器和光路切换模块，所述光路切换模块包括通向CCD图像传感器的高低倍光路分光镜和将光线引导至高低倍分光镜的反光镜，通过采用上述设置，利用光路切换模块将高倍光源检测模块和低倍光源检测模块共同引导至同一CCD图像传感器成像传输信号，减少空间占用；并且利用高低倍分光镜和反光镜的设置，高倍光源检测模块和低倍光源检测模块可以并列设置，减少空间的占用，探针定位模组体积小巧，且质量轻，易于安装，不影响工作台性能，本实用新型还公开了采用上述探针定位模组的全自动探针检测台。

主权项

1.一种结构紧凑的探针定位模组，其特征在于：包括探针检测盒(26)，所述探针检测盒(26)上设置有：高倍光源检测模块(21)，用于识别探针的精确位置坐标；低倍光源检测模块(22)，用于初步识别探针的位置坐标；CCD图像传感器(24)，将采集到图像转化为数字信号；和光路切换模块(23)，将高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)与CCD图像传感器(24)连接，所述光路切换模块(23)包括通向CCD图像传感器(24)的高低倍光路分光镜(232)和将光线引导至高低倍分光镜(222)的反光镜(233)。