[实用新型]掩膜板组件有效
申请号: | 201821359886.9 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN208632626U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 张健;黄俊杰;王震;吕守华;李冬伟;张新建 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种掩膜板组件,包括框架,设置于所述框架上的多个掩膜条,以及相交设置的支撑条和多个遮挡支撑条,所述遮挡支撑条设置于相邻两个所述掩膜条之间,且所述遮挡支撑条与所述掩膜条平行设置,所述遮挡支撑条的硬度大于预设阈值。本实用新型的有益效果是:通过遮挡支撑条的设置,抵抗FMM张网造成的框架变形力,支撑具有下垂量的玻璃。有效确保掩膜板组件的稳定性和精度,满足制作高像素密度金属掩膜板的条件。 | ||
搜索关键词: | 支撑条 遮挡 掩膜板 掩膜条 本实用新型 金属掩膜板 平行设置 相交设置 变形力 高像素 下垂量 预设 张网 玻璃 抵抗 支撑 制作 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括框架,设置于所述框架上的多个掩膜条,以及相交设置的支撑条和多个遮挡支撑条,所述遮挡支撑条设置于相邻两个所述掩膜条之间,且所述遮挡支撑条与所述掩膜条平行设置,所述遮挡支撑条的硬度大于预设阈值。
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