[实用新型]一种金刚石复合片以及一种窗体有效
申请号: | 201821364591.0 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN209493629U | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 易剑;江南;褚伍波 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C30B29/04;H01J23/36 |
代理公司: | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人: | 王惠 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请公开了一种金刚石复合片,所述金刚石复合片包括单晶金刚石片和多晶金刚石膜;所述单晶金刚石片在所述金刚石复合片的中心,所述多晶金刚石膜包裹所述单晶金刚石片的外缘表面。该金刚石复合片结构由于中心采用高品质大尺寸单晶金刚石片,介质损耗低,热导率高,断裂强度高,可以承受兆瓦级微波功率而不断裂,而且寿命长。 | ||
搜索关键词: | 金刚石复合片 单晶金刚石 多晶金刚石膜 断裂 大尺寸单晶 介质损耗 金刚石片 外缘表面 微波功率 高品质 热导率 兆瓦级 窗体 申请 | ||
【主权项】:
1.一种金刚石复合片,其特征在于,包括窗体骨架、单晶金刚石片和多晶金刚石膜;所述单晶金刚石片在所述金刚石复合片的中心,所述多晶金刚石膜包裹所述单晶金刚石片的外缘表面;所述窗体骨架与所述多晶金刚石膜固定连接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的