[实用新型]一种工业化化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201821366077.0 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN208776835U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张留新;李朝阳;樊利芳;王新宇;阮诗伦 | 申请（专利权）人： | 郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人： | 边鹏 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市自贸试验区*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置，包括多个依次相连接的腔体，所述的多个依次相连接的腔体从前往后依次为前置换室、预热室、反应室、冷却室和后置换室，所述前置换室的前壁、后置换室的后壁及各腔体之间相连接处均设置有闸门，各个腔体的侧壁上均设置有进气口和出气口，各腔体内均设置有传送装置和温度传感器，所述的传送装置用于相邻腔体之间的物料传送，所述预热室和反应室内均设置有加热装置，所述冷却室内设置有冷却装置。本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置能够适用于不同尺寸的基材，不受管式炉管径的限制，能够分批次连续进行纳米材料或涂层的生长，可满足工业化生产的需要，且生产效率高，保护气体使用量少。 | ||
| 搜索关键词： | 置换室 腔体 化学气相沉积装置 本实用新型 传送装置 预热室 进气口 室内 温度传感器 保护气体 加热装置 冷却装置 纳米材料 生产效率 物料传送 相邻腔体 出气口 反应室 管式炉 冷却室 侧壁 管径 后壁 基材 前壁 冷却 闸门 体内 生长 | ||
【主权项】：
1.一种工业化化学气相沉积装置，包括多个依次相连接的腔体，其特征在于，所述的多个依次相连接的腔体从前往后依次为前置换室、预热室、反应室、冷却室和后置换室，所述前置换室的前壁、后置换室的后壁及各腔体之间相连接处均设置有闸门，各个腔体的侧壁上均设置有进气口和出气口，各腔体内均设置有传送装置和温度传感器，所述的传送装置用于相邻腔体之间的物料传送，所述预热室和反应室内均设置有加热装置，所述冷却室内设置有冷却装置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
