[实用新型]一种半导体超洁净清洗台

摘要

本实用新型涉及一种半导体超洁净清洗台，其特征在于：包括支撑架、清洁舱、半导体夹持架、脉冲机构和紫外线杀菌灯；本实用新型中通过驱动电机驱动的半导体夹持架旋转，通过脉冲阀的控制在对准半导体夹持架的脉冲管上产生脉冲，产生的脉冲能对旋转状态的半导体夹持架进行除尘，掉落的灰尘通过负压排风口的负压风机吸出清洁舱；此外，在清洁舱内设置紫外线杀菌灯，能够消毒杀菌，从而提供良好的工作环境。

主权项

1.一种半导体超洁净清洗台，其特征在于：包括支撑架、清洁舱、半导体夹持架、脉冲机构和紫外线杀菌灯；所述支撑架呈长方体框架结构，清洁舱设置在支撑架上；所述清洁舱的一侧面开有进风口，底端面上开有负压排风口；所述进风口上设置有清洁气源；所述半导体夹持架设置在清洁舱内且半导体夹持架的两端设置有回转轴，所述半导体夹持架的两端通过回转轴承连接在清洁舱的侧壁上，所述半导体夹持架的回转轴延伸至清洁舱的外侧，所述清洁舱的外侧设置有驱动半导体夹持架旋转的驱动电机且驱动电机的输出端连接有减速器；所述脉冲机构包括气包和脉冲管；所述气包通过支撑板水平设置在清洁舱的顶端，所述气包的一侧边连接有清洁的脉冲气源，气包的另一侧水平设置有出气口且出气口处设置有脉冲阀；所述脉冲管至少具有两个且脉冲管的一端连接在气包的出气口上，脉冲管的另一端延伸至清洁舱内；所述脉冲管上设置有若干对准半导体夹持架的脉冲口；所述紫外线杀菌灯设置在清洁舱的内臂上。