[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821376210.0 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208685044U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 陈道理 | 申请（专利权）人： | 盱眙新远光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211700 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，本实用新型将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质，另外，将大部分蒸镀组件安装在蒸镀釜封头内，可以方便对设备的检修，降低使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 喷管装置 镀件 封头 放置板 镀膜 真空镀膜装置 本实用新型 抽真空泵 抽真空管 固定支架 喷头 产品品质 镀膜装置 升降气缸 组件安装 上端 镀膜层 镀膜源 对设备 固定座 均匀性 平整度 输送管 真空泵 蒸镀源 下端 检修 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜，其特征在于：所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。
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