[实用新型]一种柔性高效PECVD特气槽有效
| 申请号： | 201821377476.7 | 申请日： | 2018-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN208748195U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 范志东;王峰;吴翠平;杨瑞臣;耿小丕 | 申请（专利权）人： | 承德石油高等专科学校 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/455;C23C16/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 067000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种柔性高效PECVD特气槽，特气槽包括左仓室4、右仓室7，所述左仓室4内设有左滚轴8，所述右仓室7内设有右滚轴5，所述左滚轴8以及所述右滚轴5之间缠绕着金属薄片1，所述金属薄片1围绕在反应腔室10的外侧，所述金属薄片1上设有特气孔2，所述特气孔2与所述反应腔室10上的特气孔气路对应。 | ||
| 搜索关键词： | 滚轴 金属薄片 特气孔 特气 反应腔室 右仓 左仓 本实用新型 气路 缠绕 | ||
【主权项】：
1.一种柔性高效PECVD特气槽，包括左仓室、右仓室，其特征在于：所述左仓室内设有左滚轴，所述右仓室内设有右滚轴，所述左滚轴以及所述右滚轴之间缠绕着金属薄片，所述金属薄片围绕在反应腔室的外侧，所述金属薄片上设有特气孔，所述特气孔与所述反应腔室上的特气孔气路对应。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于承德石油高等专科学校，未经承德石油高等专科学校许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821377476.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
