[实用新型]一种新的真空镀膜设备的偏压系统有效
| 申请号： | 201821379089.7 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208762568U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;尹辉;夏正卫 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新的真空镀膜设备的偏压系统，包括支撑架、驱动马达、齿轮驱动装置、绝缘零件、三对相同结构的第一固定螺栓、旋转轴、偏压引入装置、两对相同结构的碳刷、固定板、一对相同结构的轴承、真空密封装置、四对相同结构的第二固定螺栓以及绝缘板共同构成的,所述驱动马达安置于支撑架上表面，所述齿轮驱动装置安置于驱动马达的旋转端上，所述绝缘零件安置于齿轮驱动装置内，三对所述第一固定螺栓安置于绝缘零件上，本实用新型涉及真空镀膜设备领域，该装置为两套独立的旋转偏压系统，提高薄膜粘附性、增加离子透过率、改善膜层均匀性和达到复杂曲面形状的镀膜的目的，使用起来更加的方便，结构相对简单。 | ||
| 搜索关键词： | 齿轮驱动装置 真空镀膜设备 固定螺栓 绝缘零件 偏压系统 驱动马达 本实用新型 安置 支撑架 复杂曲面形状 真空密封装置 薄膜粘附性 膜层均匀性 离子透过 引入装置 固定板 绝缘板 上表面 旋转端 旋转轴 镀膜 两套 碳刷 轴承 | ||
【主权项】：
1.一种新的真空镀膜设备的偏压系统，包括支撑架（1）、驱动马达（2）、齿轮驱动装置（3）、绝缘零件（4）、三对相同结构的第一固定螺栓（5）、旋转轴（6）、偏压引入装置（7）、两对相同结构的碳刷（8）、固定板（9）、一对相同结构的轴承（10）、真空密封装置（11）、四对相同结构的第二固定螺栓（12）以及绝缘板（13）共同构成的,其特征在于，所述驱动马达（2）安置于支撑架（1）上表面，所述齿轮驱动装置（3）安置于驱动马达（2）的旋转端上，所述绝缘零件（4）安置于齿轮驱动装置（3）内，三对所述第一固定螺栓（5）安置于绝缘零件（4）上，所述旋转轴（6）插装于绝缘零件（4）内，所述偏压引入装置（7）套装于旋转轴（6）上，两对所述碳刷（8）安置于偏压引入装置（7）上，所述固定板（9）上开设有第一圆形开口，所述第一圆形开口处开设有环形凹槽，所述真空密封装置（11）套装于旋转轴（6）上，且位于真空密封装置（11）位于环形凹槽内，一对所述轴承（10）套装于旋转轴（6）上，且一对所述轴承（10）安置于环形凹槽内，所述绝缘板（13）安置于真空密封装置（11）上。
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