[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821393521.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208898989U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 梅艳慧 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 张拥;李翔 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜室、观察窗、真空隔离件和传感器，所述真空镀膜室的室壁和所述观察窗之间设置有连接管路，所述连接管路上设置有所述真空隔离件，所述传感器能够透过所述观察窗检测真空镀膜室内的基片。通过在观察窗和真空镀膜室之间加设真空隔离件，利用真空隔离件调节观察窗和真空镀膜室之间的连通与断开，实现无需对真空镀膜室充大气，即可快速更换观察室玻璃，极大提高装置运行时间，并保护真空镀膜室内的真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜室 观察窗 真空隔离 真空镀膜装置 连接管路 真空镀膜 传感器 室内 本实用新型 快速更换 提高装置 真空环境 观察室 室壁 断开 连通 玻璃 检测 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空镀膜室、观察窗、真空隔离件(2)和传感器(5)，所述真空镀膜室的室壁(1)和所述观察窗(4)之间设置有连接管路，所述连接管路上设置有所述真空隔离件(2)，所述传感器(5)能够透过所述观察窗(4)检测真空镀膜室内的基片。
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