[实用新型]镀膜装置有效
| 申请号： | 201821393610.2 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208898982U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 唐威 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 王刚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜装置，包括镀膜腔室、设置于所述镀膜腔室内的镀膜机构、第一屏蔽或遮挡部件、第二屏蔽或遮挡部件、厚度测量传感器，所述第一屏蔽或遮挡部件沿着所述镀膜机构的镀膜方向设置，所述第二屏蔽或遮挡部件横向设置在所述镀膜腔室的开口处，所述厚度测量传感器用于检测所述第一屏蔽或遮挡部件和第二屏蔽或遮挡部件上的膜层的厚度。该镀膜装置厚度测量传感器每隔预设的测量周期测量屏蔽或遮挡部件上的膜层厚度，以实现对设备开腔清洁时间进行实时监控，极大地提高了设备的运行时间。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡部件 屏蔽 厚度测量传感器 镀膜装置 镀膜 镀膜腔室 膜层 开腔 本实用新型 测量周期 方向设置 横向设置 实时监控 镀膜腔 对设备 开口处 预设 测量 室内 检测 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括镀膜腔室(7)、设置于所述镀膜腔室(7)内的镀膜机构(1)、第一屏蔽或遮挡部件(2)、第二屏蔽或遮挡部件(6)、厚度测量传感器(3)，所述第一屏蔽或遮挡部件(2)沿着所述镀膜机构(1)的镀膜方向设置，所述第二屏蔽或遮挡部件(6)横向设置在所述镀膜腔室(7)的开口处，所述厚度测量传感器(3)用于检测所述第一屏蔽或遮挡部件(2)和第二屏蔽或遮挡部件(6)上的膜层(4)的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于君泰创新(北京)科技有限公司，未经君泰创新(北京)科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821393610.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种不锈钢真空电镀机
- 下一篇：一种用于真空磁控溅射镀膜靶材的邦定装置
- 同类专利
- 专利分类
