[实用新型]基于pattern技术中用于并测技术的探针卡有效
| 申请号： | 201821397170.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN209132315U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 徐四九 | 申请（专利权）人： | 嘉兴威伏半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人： | 俞培锋 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市平*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于pattern技术中用于并测技术的探针卡，属于晶圆检测技术领域。本基于pattern技术中用于并测技术的探针卡，包括具有探针过孔的PCB板，其特征在于，所述的探针过孔中依次设置有矩形状的第一针座、第二针座、第三针座和第四针座，第一针座、第二针座、第三针座和第四针座中均具有若干卡槽，卡槽中设置有测试探针；第一针座与第二针座上的测试探针交错设置，第三针座与第四针座上的测试探针交错设置，第一针座与第三针座上的测试探针对应设置，第二针座与第四针座上的测试探针对应设置，所述的PCB板与第一针座、第二针座、第三针座和第四针座之间均设置有切换件。本实用新型能够对晶圆并排或者是间隔排芯片的同时检测。 | ||
| 搜索关键词： | 针座 测试探针 探针卡 本实用新型 交错设置 卡槽 探针 晶圆检测 依次设置 矩形状 切换件 晶圆 芯片 检测 | ||
【主权项】：
1.基于pattern技术中用于并测技术的探针卡，包括具有探针过孔的PCB板，其特征在于，所述的探针过孔中依次设置有矩形状的第一针座、第二针座、第三针座和第四针座，第一针座、第二针座、第三针座和第四针座中均具有若干矩阵排列供安装测试探针的卡槽，卡槽中设置有测试探针；第一针座与第二针座上的测试探针交错设置，第三针座与第四针座上的测试探针交错设置，第一针座与第三针座上的测试探针对应设置，第二针座与第四针座上的测试探针对应设置，所述的PCB板与第一针座、第二针座、第三针座和第四针座之间均设置有能够使其上的测试探针处于工作状态或者非工作状态的切换件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴威伏半导体有限公司，未经嘉兴威伏半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821397170.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带油-气套管的变压器试样装置
- 下一篇：电量消耗计量装置
